在化学、医疗、制造和电力行业，Alicat 仪器可以快速、精确地监测和控制关键过程参数。Alicat 设备的速度和可靠性特别适合 真空镀膜工艺，例如原子层沉积和化学气相沉积。所有质量流量或压力控制器的数据，包括：质量流量、体积流量、压力、温度、选定的气体校准、设定值和总流量，都可以输出到运行兼容自动化协议的中央 PLC。用户还可以更改设定值或气体选择，并远程发出其他命令。
节点集成
推出 Alicat 质量流量真空控制器
RSI 已将 Alicat 兼容 EtherCAT 的质量流量控制器与 RMP EtherCAT 运动控制器集成在一起。Alicat 仪器可快速、精确地监控和控制关键过程参数。
