案例研究

半导体晶圆计量工具

概述

半导体制造机器需要极其精确和高速的运动系统。我们的客户信任我们的高性能 RMP EtherCAT 运动控制器 为他们提供成功所需的极高精度。

公司:
KLA
地点:
California, USA
网站:
访问
日期:
2011 年 9 月

解决方案

运动控制器功能

多轴协调运动 -此应用程序需要协调流路径运动,这样 X、X'、Y 和 Z 轴才能遵循路径轨迹。

250µs 内的确定性 IO 触发器 -客户需要快速而确定地执行多个 IO 功能。我们的 RMP EtherCAT 运动控制器包含多项功能,使它们能够根据预编程的事件以 250µs 的速度触发输出。

电子齿轮传动 -我们的客户利用我们的 RMP EtherCAT 运动控制器中的电子传动功能将 X 和 X' 轴组合在一起,并将其作为单个龙门轴进行控制。

自定义控制算法设计

RSI 协助开发了一种自定义控制算法,该算法对相反的电机施加扭矩偏差以消除间隙。再加上我们的双回路反馈功能,该架构显著提高了跟踪精度和性能。

硬件选择

RSI 协助选择伺服系统,包括电机、驱动器、齿轮头、精密编码器和齿轮段,以承受自然界中最恶劣的元素。

证言

技术

  • sRMP EtherCAT 运动控制器
  • 超高精度角度编码器
  • 伺服马达
  • 高扭矩齿轮头
  • EtherCAT 伺服驱动器

好处

  • 适用于关键任务应用的极其可靠的控制解决方案。
  • 自定义扭矩偏差控制算法可实现零间隙和弧秒系统精度。
  • 用于应用程序开发的实时操作系统集成。
  • 高性能跟踪能力,可瞄准陆地、海上或空中的物体。

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