Overview
半导体制造机器需要极其精确和高速的运动系统。我们的客户信任我们的高性能 RMP EtherCAT 运动控制器 为他们提供成功所需的极高精度。
Solution
运动控制器功能
多轴协调运动 -此应用程序需要协调流路径运动，这样 X、X’、Y 和 Z 轴才能遵循路径轨迹。
250µs 内的确定性 IO 触发器 -客户需要快速而确定地执行多个 IO 功能。我们的 RMP EtherCAT 运动控制器包含多项功能，使它们能够根据预编程的事件以 250µs 的速度触发输出。
电子齿轮传动 -我们的客户利用我们的 RMP EtherCAT 运动控制器中的电子传动功能将 X 和 X’ 轴组合在一起，并将其作为单个龙门轴进行控制。
自定义控制算法设计
RSI 协助开发了一种自定义控制算法，该算法对相反的电机施加扭矩偏差以消除间隙。再加上我们的双回路反馈功能，该架构显著提高了跟踪精度和性能。
硬件选择
RSI 协助选择伺服系统，包括电机、驱动器、齿轮头、精密编码器和齿轮段，以承受自然界中最恶劣的元素。